100 -г---1-3

1 65 ~

60 -

55 50

45 : ~~~~~~~ -~.Г~~~8

- ~~ - ~ 9

40 Ч-1-I-1-I-1-I-1-I-1-I-1-I-1-I-1-I-1-I-1-I

300 320 340 360 380 400 420 440 460 480 500

Temperature, [K]

Рис. 4. Температурные зависимости мольной доли прореагировавшего с СF4/H2 оксида кремния ASiO2/SiO20 при различных значениях NCF4:NSiO2 и CF4:H2:

1 - ASiO2/SiO20 при ЛЫ:М;ю2=2:1 и CF4:H2=1:2, 2 - ASiO2/SiO20 при NcF4:NsiO2=2:1 и CF4:H2=1:4, 3 - ASiO2/SiO20 при ЛЫ:М;ю2=2:1 и CF4:H2=1:8, 4 - ASiO2/SiO20 при NcF4:NSiO2=1:1 и CF4:H2=1:2, 5 - ASiO2/SiO20 при NCF4:NSiO2=1:1 и CF4:H2=1:4, 6 -ASiO2/SiO20 при NCF4:NSiO2=1:1 и CF4:H2=1:8, 7 - ASiO2/SiO20 при NCF4:NSiO2=1:2 и CF4:H2=1:2, 8 - ASiO2/SiO20 при NCF4:NSiO2=1:2 и CF4:H2=1:4, 9 - ASiO2/SiO20 при NCF4:NSiO2=1:2 и CF4:H2=1:8.